Новости космонавтики (г.Москва)
июнь 2007 года, N06

Состояние и перспективы МАКС

Результаты прошедшего в Государственной Думе РФ круглого стола по системе МАКС (НК N5, 2007, с.59) позволяют оценить состояние и перспективы программы.

В настоящее время в проекте Многоцелевой авиационно-космической системы (МАКС) можно условно выделить три основных аспекта: организационно-финансовый, экономический и технический.

В организационном основным событием является создание в 2006 г. консорциума "Авиационно-космические производственные системы" (президент - А.А.Абрамян, генеральный директор - Н.А.Кушнарев), объединившего на некоммерческой добровольной основе ОАО НПО "Молния", МФПГ "Интернавигация", ЗАО НТФ "Градиент" и ряд предприятий и организаций, заинтересованных в реализации проекта МАКС и его использовании для решения ряда задач. Консорциум создан без образования юридического лица с тем, чтобы его участники могли четко определить свои позиции и интересы в проекте. За прошедший год созданы условия для развития и коммерциализации интеллектуальной собственности участников проекта. Расширилось участие научно-производственных объединений, изъявивших желание войти в консорциум. Так, в состав участников вошли организации РАН: Институт физики им. Йоффе, Институт машиноведения, Институт физики полупроводников Сибирского отделения РАН, Институт физики и технологии.

Принято принципиальное решение о регистрации Консорциума как юридического лица в виде некоммерческого партнерства. Предполагается, что это позволит гибко учесть интересы участников проекта при сохранении их экономической самостоятельности. На уровне президиума и экспертного совета Консорциума принят ряд решений по освобождению от внесений финансовых и материальных средств от ФГУПов и научных подразделений институтов.

По словам Н.А.Кушнарева, полноценной работе Консорциума мешает ряд проблем, в частности несовершенство законодательной базы в отношении учета, оценки и передачи интеллектуальной собственности. Тем не менее планируется до конца 2007 г. решить большинство возникших вопросов.

Работа Консорциума с предполагаемыми инвесторами находится на завершающей стадии первого этапа: определено, кто будет инвестором, как будет осуществляться прием средств от инвесторов - как российских, так и зарубежных. На эту тему 20-25 мая планируется провести международную конференцию.

На сегодняшний день Консорциум перешел на т.н. "двухсторонние отношения". Для этого создан генеральный проект документов, генеральное соглашение о совместной деятельности и научно-техническом сотрудничестве. По словам Н.А.Кушнарева, двухсторонние договорные отношения будут оформляться по мере возникновения необходимости перемещения материальных средств и финансов. С несколькими институтами и НПО такие договоры уже подписаны.

Одна из целей создания Консорциума - сохранение кооперации проекта МАКС, которая имеет определенный научно-технический задел, а также сохранение технических возможностей предприятий по решению ряда проблем изготовления непосредственно авиационно-космической системы.

Консорциум ведет интенсивную работу по обеспечению финансирования как по линии госбюджета, так и по внебюджетным источникам. Однако "пока государство готово оказать проекту скорее моральную, нежели материальную поддержку". Поэтому Консорциум активно сотрудничает с государственными органами, включая Роскосмос и Роспром. Ведется переписка, проведен ряд встреч с госчиновниками, в том числе с привлечением технических специалистов и финансистов. Но, как высказался Н.А.Кушнарев: "Все стоит на месте. Пока понимание не достигнуто. А причина одна: крайне слабая подготовка привлекаемых специалистов государственной власти для оценки проекта. Это самое страшное, когда люди сидят на совещаниях и не знают состав проекта, а МАКС создавался [еще] в Советском Союзе! Это говорит о том, что руководители многих организаций, в том числе государственных, не прониклись ответственностью за внедрение высоких технологий, которые мы предлагаем в рамках установок и указов Президента и высших органов власти!"

Тем не менее Консорциум оптимистично оценивает будущее проекта, полагая, что в ходе его реализации появится большая масса заказчиков. По словам генерального директора, "предполагаемые [заказчики] уже есть, причем они даже выстраиваются в очередь!"

Разработчики МАКС, а также другие участники проекта убеждены в экономической эффективности системы, с помощью которой предполагается решать следующие целевые задачи:
- выведение спутников различного назначения на орбиты (от низких с наклонением от 0 до 180° и до геостационарной);
- транспортно-техническое обеспечение орбитальных станций и платформ, как альтернатива или замена космическим кораблям "Союз" и "Прогресс";
- доставка с орбиты на Землю результатов деятельности космических производственных комплексов;
- аварийное спасение экипажей пилотируемых орбитальных объектов;
- космический туризм, проведение научно-технических экспериментов на орбите;
- дистанционное зондирование Земли;
- очистка околоземного пространства от техногенного мусора;
- сборка крупных объектов на орбите, в том числе для полетов на Луну и Марс.

По мнению участников проекта, для решения этих задач МАКС сможет выполнять от 30 до 80 полетов в год, чем должна обеспечиваться крайне высокая (по современным меркам) экономическая эффективность системы.

В качестве примера разработчики приводят вариант обслуживания пяти платформ по производству полупроводниковых материалов (см. "Завод на орбите"). По расчетам экономистов, решение данной задачи станет рентабельным при удельной стоимости выведения на низкую орбиту не более 3000 $/кг. Согласно экспертным оценкам, фактически она может составить от 1000-1500 $/кг (экспертное заключение фирмы Deutshe Aerospace) до 2000 $/кг (заключение фирмы British Aerospace). По оценке ряда институтов российского авиапрома, удельная стоимость составит 660-1300 $/кг.
Для сравнения: соответствующие значения для одноразовых РН составляют: Pegasus - 14000-24000 $/кг, Taurus - 8000 $/кг, Ariane V - 6674 $/кг, Long March 3 - 6300 $/кг, Н-2 - 8000-14000 $/кг, "Протон" - 2400-6000 $/кг, "Зенит-2" - 2540 $/кг, "Союз-2" - 4285 $/кг, "Рокот" - 3500-4500 $/кг.
По заявлениям участников Консорциума, выпуск "специальных" (в т.ч. радиационно стойких) полупроводников в космосе может принести до 300% прибыли при ограниченном объеме рынка. В случае производства продукции для массового рынка рентабельность снизится до 100%, но совокупный объем прибыли все равно вырастет.

Что касается технического облика МАКС, напомним, что это многоразовая всеазимутальная система, первой ступенью которой служит самолет-носитель Ан-225, созданный в АНТК им. О.К.Антонова (Украина). В качестве основных рассматриваются две модификации - пилотируемая (МАКС-ОС) на основе орбитальной крылатой ступени и грузовая (МАКС-Т) с одноразовым ракетным блоком. В зависимости от наклонения грузоподъемность на низкую орбиту может составить: в первом случае 6-9 т, во втором - до 20 т. Оба варианта системы включают одноразовый сбрасываемый топливный бак. В более отдаленной перспективе рассматривается полностью многоразовая система (МАКС-М).

По заявлению специалистов ЦАГИ, авиационно-космическим системам свойственны следующие достоинства:
- сокращение зон отчуждения,
- обеспечение всеазимутальности пусков,
- существенное снижение стоимости эксплуатации,
- увеличение мобильности и гибкости применения,
- сокращение продолжительности межполетного обслуживания,
- существенное уменьшение перегрузок при спуске с орбиты,
- увеличенная комфортность экипажа при спуске и посадке.

Главный конструктор проекта МАКС В.А.Скороделов отметил: "Воздушный старт с самолета-носителя позволяет значительно расширить эксплуатационные возможности транспортной системы: с территории России мы сможем работать по орбитам с любым наклонением, на что сегодня наши существующие средства не способны. Мы можем оперативно выполнять задачи встречи с другими объектами на орбите, аварийного спасения и обслуживания других КА, сможем значительно более выгодно выполнять задачу вывода спутников на геостационарную орбиту. На сегодня это особо актуально, поскольку наши космодромы находятся значительно севернее, чем у наших конкурентов, и мы по факту проиграли рынок вывода спутников на геостационар. А это на сегодня 90% коммерческих запусков".

Разработчики предложили следующую схему вывода КА на ГСО. Система собирается в Самаре, затем на самолете-носителе перелетает, например, на аэродром Энгельс, откуда осуществляется полет (с незаправленной 2-й ступенью) на индийский космодром Шрихарикота, где имеется криогенная заправочная база. Шрихарикота используется как "аэродром подскока", здесь заправляется вторая ступень (с индийской стороной этот вопрос обсуждался), и самолет летит в плоскость экватора. Затем [над океаном] следует запуск на геостационарную орбиту. Как отметил В.А.Скороделов, "экономический эффект от такой схемы применения системы очень большой; это альтернатива нашим северным космодромам".

Каково же состояние проекта на сегодня? По сравнению с первоначальным вариантом конца 1980-х годов, стартовая масса МАКС выросла с 250 до 275 т, а водородные двигатели заменены на трехкомпонентные РД-701 разработки НПО "Энергомаш" имени В.П. Глушко.
В НПО "Молния" изготовлены натурные макеты частей орбитального самолета (ОС). Полноразмерный конструктивно-подобный макет сбрасываемого топливного бака, изготовленный на заводе "Южмаш", к сожалению, был утилизирован в металлолом.
Состояние по самолету-носителю Ан-225 существенно лучше. Этот уникальный аппарат, согласно техническому заданию, изначально разрабатывался для выполнения трех задач:
- транспортировка грузов до 250 т как на внешней подвеске ("на спине"), так и внутри грузовой кабины;
- транспортировка элементов ракетно-космической системы "Энергия-Буран" с заводов-изготовителей на космодром Байконур;
- использование самолета в качестве носителя АКС.
Самолет был создан в рекордные сроки: проектирование началось в 1984 г., а первый полет состоялся в конце 1988 г. Первый (и пока единственный) экземпляр Ан-225 в 2001 г. был восстановлен до летного состояния, сертифицирован для грузовых перевозок и эксплуатируется по назначению.

Для второго летного экземпляра практически готов планер, но нет многих комплектующих, оборудования и двигателей (видимо, именно этот экземпляр может стать самолетом-носителем МАКС).
Основные характеристики машины: взлетная масса до 620-640 т, крейсерская скорость 800-850 км/ч, максимальная дальность полета до 15 тыс км.

О.К.Богданов, заместитель генерального конструктора АНТК им. О.К.Антонова, сообщил: "Мы прошли этапы технического предложения, сделали эскизный проект, затем дополнение, поскольку ОС с баком все время "двигался", и выполнили очень большой объем научно-исследовательских работ. Конечно, можно будет поставить более мощные двигатели, но придется немного изменить некоторые силовые элементы фюзеляжа и подсократить его, потому что ОС с баком уже вырос до 275 т. На мой взгляд, наиболее сложная работа - это создание бортового стартового комплекса, который должен быть поставлен на самолет-носитель и обеспечит работу собственно ОС".
При этом грузовая кабина сохраняет возможность использования для перевозки различных грузов, связанных с работой авиационно-космической системы. Были проработаны и решены, а затем совместно с ЦАГИ проверены в аэродинамических трубах все вопросы, связанные с узлами крепления, панелью разъема и надфюзеляжным зализом.
Конструкторы АНТК им. О.К.Антонова установили предел стартовой массы МАКС - 275 т. Дальнейшее увеличение массы "ракетного сегмента" невозможно. О.Богданов подчеркнул: "Мы сказали: "Далее - ни шагу!" Не следует дальше надеяться на конструкцию самолета".
Также панируется оснастить Ан-225 системой дозаправки в воздухе. Ну и, конечно, надо построить необходимое количество самолетов-носителей и провести летные испытания на втором экземпляре Ан-225. По мнению специалистов АНТК, научно-технический задел позволяет создать реальную транспортную систему вывода полезной нагрузки в космическое пространство, поскольку ключевая позиция - летающий самолет Ан-225 - имеется.

Как считают специалисты ЦАГИ, в настоящее время МАКС является наиболее проработанной авиационно-космической системой. В 1998 г. на основании результатов работы одиннадцати рабочих групп специалистов в области аэродинамики, прочности, устойчивости и управляемости, теплозащиты, двигателей и оборудования ЦАГИ совместно с ЦНИИмаш подготовили положительное заключение о технической реализуемости проекта. Правда, отдельные специалисты отмечали высокую стоимость разработки системы МАКС (что могло привести к прекращению работ по другим отечественным программам), вследствие чего "в настоящее время (1998 г.) невозможно принять решение о переходе на стадию ОКР по созданию системы МАКС. Дальнейшее развитие проекта может быть оправдано лишь в случае обоснования роли и места этой системы в решении целевых задач". К 2007 г. такие задачи были наконец определены, а ЦАГИ повел обширные исследования различных проектов АКС на базе самолетов-носителей МиГ-31, Ту-160, Ту-22М, М-55, Ан-124, "Геракл".

В целом, по мнению участников Консорциума, реализация проекта МАКС позволит поднять научно-промышленный и технологический потенциал России на новый, более высокий уровень.

Игорь Афанасьев

Завод на орбите

Продолжая тему использования Многоцелевой авиационно-космической системы МАКС (НК №5, 2007), рассмотрим проект орбитального производства полупроводников, подробности которого стали известны во время мартовского круглого стола.

В чем необходимость организации производства именно на орбите? Председатель совета управляющих МФПГ "Интернавигация", генеральный директор ЗАО НТФ "Градиент" В.И.Денисов отметил: по оценкам западных аналитиков, Россия находится на 72-м месте по уровню развития государственного сектора информационных технологий (ИТ). В настоящее время доля зарубежных компонентов в элементной базе выпускаемой гражданской и военной продукции достигает 65%. А если говорить о микроэлектронике, то качественных отечественных электронных компонентов практически нет. Понятно, что зависимость от импорта в такой чувствительной сфере, как национальная безопасность, недопустима.

В.И.Денисов сказал: "По этому вопросу принималась масса программ, утверждены концепции, в т.ч. концепция развития рынка ИТ России, одобренная правительством еще в 2004 г. Сейчас принято решение о национальной технологической базе, на что выделяются определенные средства".

Проблемами, связанными с технологией производства полупроводников с необходимыми свойствами, занимаются ученые Института физики полупроводников (ИФП) Сибирского отделения РАН. Они уже создали наземные полупромышленные установки. Современная высокоточная технология позволяет выращивать очень сложные многослойные полупроводниковые структуры в сверхчистых условиях на Земле. На всех участках производственной линии поддерживается сверхвысокий вакуум; пластины полупроводниковой подложки ни разу не выходят на воздух. Два экземпляра подобной линии изготовлены в ИФП и сейчас производят элементы (структуры) для приборов ночного видения с диаметром подложек 100 мм.

Заведующий отделом ИФП О.П.Пчеляков пояснил: "Наши технологии отличаются от ранее рассматриваемых для применения в космическом пространстве: мы не используем фактор невесомости. Это очень важный момент. Технологи, занимающиеся кристаллизацией объемных полупроводников из жидких расплавов, планировали, что на орбите они столкнутся с полной невесомостью, поскольку сам процесс очень чувствителен к микроускорениям и микровибрациям. Оказалось, что в космосе на борту реальных аппаратов - как пилотируемых станций и кораблей, так и беспилотных спутников - мы встретили не невесомость, а микрогравитацию со всеми сопутствующими признаками. Здесь, как правило, растут неоднородные кристаллы".

Именно по этой причине специалисты ИФП считают неперспективными дальнейшие работы по выращиванию массивных полупроводниковых кристаллов в космическом пространстве. Место таких технологий должно занять создание сложных многослойных пленок на готовых полупроводниковых подложках.

Заметим, что уже сейчас процесс получения подобных пленок в космосе в ряде случаев экономически более выгоден, чем на Земле: цена одной наземной установки вместе с чистым помещением, в котором она должна находиться, приближается к 1 млрд $. Массовое производство полупроводниковых компонентов требует очень высокой чистоты как материала (отсутствия примесей*), так и вакуума. Производство настолько чистое, что человек к такой установке подходит в скафандре. В этом смысле космический вакуум неоценим.

* Полупроводниковые материалы очень чувствительны к микроскопическим количествам примесей, которые существенно изменяют их свойства, даже когда в состав материала входят миллионные или миллиардные доли вещества другого типа.

Проект получения полупроводников в условиях космического вакуума с применением аэродинамического "теневого" экрана прорабатывается в ИФП уже десять лет. В худшие времена им занимались всего 20 человек. Теперь из 800 сотрудников Института над проектом работают более 100 специалистов четырех лабораторий.

"Наш оптимизм в реализации рыночного варианта этой программы, - рассказывает О.Пчеляков, - базируется на том, что наши полупромышленные установки не справляются с потребностями внутреннего рынка, не говоря уже о внешнем. Потенциальными потребителями полупроводниковых элементов будут гетеролазеры, фототранзисторы и фотоприемные структуры, а также структуры для сверхбольших интегральных схем (СБИС) на гетеросистемах с очень высоким быстродействием (крайне-высокочастотные элементы современной микроэлектроники). Есть и задача создания нового поколения очень эффективных фотогальванических преобразователей (ФГП) - солнечных батарей как космического, так и земного применения, сочетающих материалы типа арсенида галлия, известные всем, и основной материал на сегодня для батарей - кремний и германий".

Космическая производственная установка обещает быть более легкой и дешевой, чем наземная. "Там не будет массивных стен, обилия гаек и так называемой "холодной сварки", фланцев, многих тонн нержавеющей стали, которая с декабря 2006 г. подорожала в два раза", - пояснил О.П.Пчеляков.

Основная деталь установки для выращивания пленок - молекулярный экран, который разворачивается в космосе в "кильватерном следе" КА и обеспечивает получение сверхвысокого вакуума, недостижимого в земных условиях. В качестве основного конструкционного материала для такого экрана используется легкая полиамидная пленка, покрытая проводящим слоем для стекания зарядов статического электричества. Экран складывается и раскладывается как зонтик и в транспортном положении помещается в контейнер.

Кроме того, сам "холодный" открытый космос является идеальным средством откачки фактически бесконечной мощности. Он может поглотить любые потоки газовых смесей. Молекулы, которые уходят в космос, никогда обратно не вернутся. И это еще один плюс, потому что в наземных условиях стенки камеры накапливают полупроводниковый материал и "эффект памяти" передается от одной структуры к другой: в одной и той же камере невозможно выращивать различные структуры.

Очень интересен вопрос применения токсичных летучих веществ - жидкостей и газов, которые в электронной технике служат для введения необходимых элементов в подложку. В космосе эти соединения, опасные для человека, после применения рассеиваются до безопасных концентраций и разлагаются на безопасные компоненты под действием солнечного излучения.

Специалисты ИФП предлагали создать экспериментальную полупромышленную установку, которая доставляется на российский сегмент МКС в грузовом отсеке "Прогресса", затем извлекается и с помощью специальной телескопической штанги выводится в открытый космос. В таком состоянии солнечные лучи фокусируются самим же экраном на элементах технологической оснастки, нагревая их до температуры больше 150°С, при этом происходит их дегазация.

Затем установка разворачивается в набегающий поток, и дальше в ее "чистой" части организуется сверхвысокий вакуум, установка захолаживается (тепло уходит в космос, экспериментально показано, что на ней можно получить температуру минус 120-140°С), после этого открываются заслонки и начинается выращивание полупроводниковой пленки. Установка содержит карусель с кремниевыми подложками, которые, поворачиваясь, поочередно занимают рабочую позицию в центре теневой зоны. Пластина подложки должна "видеть" только холодный космос и источники молекулярных пучков.

Орбитальная промышленная установка представляет собой автоматический (или посещаемый космонавтами) КА, использующий эффект аэродинамической тени, создающей зону сверхвысокого разрежения, в которой концентрация частиц на пять порядков меньше, чем в набегающем потоке. Это очень существенно, и параметры этой технологической среды выше, чем сегодня реально получить на Земле.

В данном проекте принимают участие украинские предприятия. В частности, ИФП тесно сотрудничает с институтом электросварки имени Е.О.Патона - автором развертывающегося экрана (проект "Тюльпан").

По проекту платформа имеет технологические установки с теневыми экранами, солнечную энергетику и служебные системы для получения полупроводниковых гетероэпитексиальных структур. Полуфабрикат доставляется с Земли в транспортно-технологических контейнерах, в них же складывается готовая продукция и отправляется на Землю. Снабжение этого автоматического орбитального завода осуществляется с помощью орбитальной ступени МАКС.

С точки зрения ведущих специалистов-электронщиков, промышленное производство гетероструктур "германий - кремний" на кремниевой подложке гораздо перспективнее выпуска арсенид-галлиевых или кремниевых (германиевых) элементов. Такая технология очень интенсивно развивается.

По мнению директора Физико-технологического института, академика РАН А.А.Орляковского, космическое производство полупроводников будет развиваться в три этапа:
·                           выпуск солнечных ФГП;
·                           производство приборных структур;
·                           создание орбитальных "чиповых" фабрик.

Предполагается, что рынок ФГП будет расти очень интенсивно. В ежегодном докладе Международной энергетической ассоциации "Перспективы мировой энергетики" утверждается, что к 2030 г. спрос на энергоносители возрастет примерно на 50%, спрос на нефть составит 116 млн баррелей, а цены достигнут 100 $ за баррель. В этих условиях реальной альтернативой станут атомная, солнечная, ветровая, приливная, геотермальная энергетика. Ожидается, что уже к 2010 г. будут созданы заводы-гиганты по 10 линий на предприятие; каждая линия будет производить ФГП общей модностью до 10 МВт в год, что составит для каждого завода 1000 МВт в год. Это эквивалент типовой атомной электростанции.

При этом потребности в кремниевых подложках резко возрастут. Сейчас на производство ФГП мощностью 1 Вт требуется 7 г кремния. Тысячемегаваттный завод будет потреблять 1 т кремния в час. К этому времени дефицит кремния предполагается покрыть за счет Китая, Японии и Кореи, где уже строятся новые производства. Все это должно привести к существенному снижению удельной стоимости ФГП к 2010 г. примерно до 1.5 $ за ватт.

Повышается и к.п.д. преобразователей; например, применение структур "германий - кремний" на подложке из кремния может обеспечить значение к.п.д. до 30% и более. Таким образом, найдут применение не только солнечные космические электростанции, о которых давно и пока безуспешно говорят специалисты, но и наземные - как централизованные, так и локальные (на крышах домов, на летательных аппаратах, автомобилях и т.п.).

Прогресс изготовления кремниевых подложек, на которых создаются эпитаксиальные структуры, определяется ростом их размеров. Стремление увеличить диаметр подложки равноценно стремлению увеличить производительность процесса. Чем больше подложка, тем больше чипов умещается на ней. Стоимость индивидуального транзистора, например, благодаря увеличению степени интеграции схем и росту размеров пластин, начиная с 1970 г. уменьшилась в триллион раз (10 в 9 степени). В настоящее время передовые фабрики работают с подложками диаметром 300 мм, затем диаметр увеличится до 450 мм и, наконец, до 675 мм.

Наиболее интенсивно развивающимся рынком потребителей интегральных схем являются цифровое телевидение, MP3-плейеры, мобильная телефонная сотовая связь, цифровые камеры и компьютеры. Ну, и конечно, сфера военной электроники. Этот рост не такой уж большой - около 7% (например, цифровое телевидение дает 50% в год), но все эти задачи обеспечиваются гетероэпитексиальными структурами на кремнии.

Космические фабрики чипов пока кажутся мечтой и требуют решения большого количества проблем, среди них:
- разработка автоматизированного комплекса оборудования и технологий, совместимых с условиями орбитального полета;
- обеспечение высокой производительности орбитальных фабрик, превышающей производительность наземных чиповых фабрик (современный высокопроизводительный завод - это 20 тысяч пластин в месяц!);
- обеспечение доставки материалов на орбиту и продуктов орбитального производства на Землю, в том числе создание автономных орбитальных складов;
- создание орбитальной солнечной электростанции и т.д.

Возможно, космический завод будет кластерным, т.е. объединяющим различные типы оборудования в один блок. А.А.Орляковский сказал: "В принципе, никаких ограничений и принципиальных запретов здесь нет. Что нужно для этого? Такой завод должен, во-первых, обеспечить 100%-ный выход годных элементов на каждой пластине. Сейчас лучшие наземные предприятия дают 97-98%; если этого нет, завод просто не сертифицируют и не допускают к работе, до тех пор пока нужный выход не будет обеспечен. Во-вторых, необходимо полностью исключить техпроцессы с участием жидкостей. Только полностью сухие и высоковакуумные технологии, такие как гетероэпитаксиальные или ионно-плазменные".

Участники круглого стола сообщили, что в качестве систем, обеспечивающих работу космического производства, рассматривались различные проекты. Среди них - автономный аппарат ОКА-Т ("ЦСКБ-Прогресс"), корабль "Клипер" в сочетании с МКС (РКК "Энергия"), а также платформа "Яхта" (ГКНПЦ им. М.В.Хруничева). По расчетам, наиболее экономически эффективным средством будет МАКС в сочетании со специально созданной посещаемой станцией - заводом по производству полупроводниковых пластин.

Игорь Афанасьев

Переход на: